功能型Loader
主要功能
- Substrate & Boat進出之計數集積
- Substrate清潔(依機種)
- 容許尺寸:可客製化
- 連線方式:可客製化
- 主要應用於 半導體相關產業領域
- Substrate & Boat進出之計數集積
- Substrate清潔(依機種)
- 容許尺寸:可客製化
- 連線方式:可客製化
- 主要應用於 半導體相關產業領域
